Pustaka Ilmiah Universitas Padjadjaran

Abstrak

Fabrikasi Film Hibrid Anorganik-organik Untuk Optik Pemandu Gelombang

Lapisan pemandu dan lapisan penyangga hibrid anorganik-organik disintesis melalui proses sol-gel. Larutan 3-(trimetoksisilil) propilmetakrilat dan tetraetilortosilikat yang dikatalisis oleh asam digunakan sebagai prekursor untuk menghasilkan film tebal dengan cara spin-coating. Pemasukkan gugus fungsi yang sensitif terhadap sinar UV mengarah pada fabrikasi lapisan pemandu yang dapat dipolakan dengan foto. Film yang dipola dengan resolusi tinggi dengan tebal garis 8 ìm diperoleh menggunakan foto-litografi konvensional. Selanjutnya, jumlah feniltrimetoksisilana ditambahkan bervariasi untuk mengontrol indeks bias lapisanpenyangga. Variasi indeks bias dan perubahan struktur film hibrid anorganikorganik sebagai fungsi kondisi pemrosesan dianalisis menggunakan teknik kopling prisma dan spektrometer FT-IR. Pada penelitian ini telah dihasilkan film yang transparan secara optik di atas 500 nm dengan kehilangan propagasi masing-masing 0,84 dan 1,49 dB/cm pada 1310 dan 1550 nm.